TM3030 型掃描電子顯微鏡一、用途Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學、物理等各種不同領域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花費大量時間在樣品制備和電鏡的操作上。為此，日立在原有的，已受到廣泛好評的TM-1000的技術上，精益求精，研發出結構更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作，即可達到觀察微觀世界的目的。二、技術規格項 目內 容放大倍率15X～30,000X(數字放大：2X、4X)觀察模式標準模式、減輕荷電模式、大束流分析模式圖像模式形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像電子光學系統電子槍預對中發夾型鎢燈絲加速電壓5kV、15kV 、EDX透鏡系統3級電磁式透鏡會聚系統電位移±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標準模式)能譜分析位置WD=10mm, TOA=35°樣品臺樣品臺控制2軸手動樣品臺樣品可移動范圍X：±17.5mm、Y：±17.5mm*大樣品尺寸直徑70mm*大樣品厚度50mm檢測器高靈敏4分割半導體背散射電子檢測器真空系統自動控制系統全自動氣動閥控制系統*高真空度1.5×10-5Pa可變真空度6~270Pa(22steps)渦輪分子泵30L/s 1臺隔膜泵1m3/h 1臺真空計1臺自動功能自動燈絲飽和已配備自動電子束設定已配備自動電子槍對中已配備自動合軸已配備自動聚焦、消像散已配備自動亮度、對比度已配備自動保護功能帶有過電流保護功能、漏電遮斷器計算機控制系統操作系統Microsoft Windows? 7CPUIntel? CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC)內存容量2GB以上接口與端子USB2.0接口(2個)、網路接口(以太網)觀察15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素控制鼠標、鍵盤掃描速度TV掃描640×480象素顯示，25幀/秒快速掃描全屏顯示，6.3幀/秒慢速掃描全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀圖像數據存儲圖像存儲像素640 × 480、1,280 × 960像素圖像數據保存PC帶硬盤及其他記錄媒體圖像存儲格式BMP、TIFF、JPEG圖像信息微標尺、微值、放大倍率、日期、時間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離輔助功能圖像旋轉、簡單測量、三維動畫維護指南使用環境室溫15°C ～30°C相對濕度40%～70%電源單相AC100～240V(*低90V、*高250V) 50/60Hz、3P插座地線D類接地，電阻小于100Ω體積與重量主機330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage)330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)隔膜泵145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg

U1510掃描電子顯微鏡一、用途SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。特點　　1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。　　2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。　　3. 可載入＊大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。　　4. 強大的鼠標控制功能，可實現電鏡的所有操作。　　5. 分子泵真空系統，潔凈無污染。二、技術規格項目內容二次電子分辨率3.0nm（高真空，30kV）背散射電子分辨率4.0nm(低真空：6Pa，30kV）倍率5～300,000X加速電圧0.3～30 kV樣品臺     X     0～80 mm        Y     0～40 mm； Z     5～50 mm；     T     -20°～ 90°； R    360° 樣品臺控制手動（可選：2軸馬達）＊大載入樣品尺寸直徑：153 mm＊大觀察范圍直徑：126 mm（XYR并用）＊大樣品高度60 mm（WD=15 mm）低真空范圍6-270Pa(從菜單設定)燈絲預對中鎢燈絲物鏡光闌4孔可變光闌槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓檢測器二次電子檢測器，高靈敏度半導體背散射電子檢測器EDX分析位置WD=15,TOA=35°真空系統分子泵1臺，機械泵1臺安全措施停電，漏電，自動保護