工業(yè)檢測顯微鏡BM-54XBD
一、用途
BM-54XBD工業(yè)檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠(yuǎn)長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導(dǎo)體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、冶金工業(yè)開發(fā)的，作為**工業(yè)顯微鏡使用。可進(jìn)行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機(jī)構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。 |
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二、特點
1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統(tǒng)的物鏡成像技術(shù)
2、拓展了物鏡的復(fù)用技術(shù)，無限遠(yuǎn)物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質(zhì)量
3、采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度
4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡
5、可插DIC微分干涉裝置的轉(zhuǎn)換器
三、技術(shù)規(guī)格
1、目鏡：
| 類 別 | 放 大 倍 數(shù) | 目視場直徑（mm） |
超寬視場
平場目鏡 | 10X | Φ25 |
目鏡
(帶0.1mm十字分劃板） | 10X | Φ20 |
2、物鏡：
| 類 別 | 放大倍數(shù) | 數(shù)值孔徑N.A(mm) | 系 統(tǒng) | 工作距離（mm） |
平場無限遠(yuǎn)
長工作距離
明暗場物鏡 | 5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 |
| 20X | 0.40 | 10.6 |
| 40X | 0.60 | 5.40 |
3、顯微鏡的總放大倍率：
| 物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數(shù) | 總放大倍數(shù) |
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X |
| 20X | 200X |
| 40X | 400X |
4、觀察頭：30°鉸鏈?zhǔn)饺?/p>
5、轉(zhuǎn)換器：帶DIC 插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
6、瞳距：50-75 mm
7、雙層移動平臺：平臺尺寸：350×310 mm；移動范圍：250×250 mm
8、濾色片：插板式濾色片（綠、藍(lán)、中性）
9、調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動同軸調(diào)焦,采用鹵輪鹵條傳動機(jī)構(gòu)；微動格值0.002mm
10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
11、檢測工具：0.01 mm測微尺
12、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素?zé)?2V100W，AC85V-230V，亮度可調(diào)
