工業檢測顯微鏡BM-54XBD S
一、用途
BM-54XBD S 數碼工業檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業開發的，作為**工業顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。 |
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二、特點
1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術
2、拓展了物鏡的復用技術，無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法，并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質量
3、采用非球面Kohler照明，增加觀察亮度
4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡，長工作距離明暗場金相物鏡
5、可插DIC微分干涉裝置的轉換器
三、技術規格
1、目鏡：
| 類 別 | 放 大 倍 數 | 目視場直徑（mm） |
超寬視場
平場目鏡 | 10X | Φ25 |
目鏡
(帶0.1mm十字分劃板） | 10X | Φ20 |
2、物鏡：
| 類 別 | 放大倍數 | 數值孔徑N.A(mm) | 系 統 | 工作距離（mm） |
平場無限遠
長工作距離
明暗場物鏡 | 5X | 0.10 | 干 | 29.4 |
| 10X | 0.25 | 16.0 |
| 20X | 0.40 | 10.6 |
| 40X | 0.60 | 5.40 |
3、顯微鏡的總放大倍率：
| 物 鏡 | 目 鏡 | 鏡筒系數 | 總放大倍數 |
| 5X | 10X | 1X | 50X |
| 10X | 100X |
| 20X | 200X |
| 40X | 400X |
4、觀察頭：30°鉸鏈式三目
5、轉換器：帶DIC 插孔明暗場五孔轉換器
6、瞳距：50-75 mm
7、雙層移動平臺：平臺尺寸：350×310 mm；移動范圍：250×250 mm
8、濾色片：插板式濾色片（綠、藍、中性）
9、調焦機構：粗微動同軸調焦,采用鹵輪鹵條傳動機構；微動格值0.002mm
10、偏光裝置：檢偏鏡可360°轉動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
11、檢測工具：0.01 mm測微尺
12、光源： 落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V100W，AC85V-230V，亮度可調
13、數碼相機系統：數碼相機、90度數碼適配鏡、轉接器
