當前位置:
BM-54XBD工業檢測顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗物鏡、大視野目鏡、圖像清晰、襯度好。是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、冶金工業開發的,作為**工業顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
1、采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術
2、拓展了物鏡的復用技術,無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一觀察法中均提供高清晰的圖像質量
3、采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度
4、WF10X(Φ25mm)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡
5、可插DIC微分干涉裝置的轉換器
1、目鏡:
2、物鏡:
3、顯微鏡的總放大倍率:
4、觀察頭:30°鉸鏈式三目
5、轉換器:帶DIC 插孔明暗場五孔轉換器
6、瞳距:50-75 mm
7、雙層移動平臺:平臺尺寸:350×310 mm;移動范圍:250×250 mm
8、濾色片:插板式濾色片(綠、藍、中性)
9、調焦機構:粗微動同軸調焦,采用鹵輪鹵條傳動機構;微動格值0.002mm
10、偏光裝置:檢偏鏡可360°轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
11、檢測工具:0.01 mm測微尺
12、光源: 落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V100W,AC85V-230V,亮