當前位置：
1、光機電一體化設計，外形結構簡單；
2、掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；
3、精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調節簡單，操作方便；
4、采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；
5、伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區域精確定位；
6、高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區域；
7、高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；
8、自由變倍的CCD觀測系統，實時觀測與定位探針掃描樣品區域；
9、采用伺服馬達控制CCD對焦和光學放大；
10、模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進與維護；
11、集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用。
1、多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖；
2、多種曲線力-間距(F-Z)、頻率-RMS（f-RMS）、RMS-間隙（RMS-Z）測量功能；
3、可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域；
4、可任意選擇樣品起始掃描角度；
5、激光光斑檢測系統的實時調整功能；
6、針尖共振峰自動和手動搜索功能；
7、可任意定義掃描圖像的色板功能；
8、支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能；
9、支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正；
