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U1510掃描電子顯微鏡

一、用途

SU1510掃描電子顯微鏡主機寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。

特點
　　

1. 儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。

2. 標配低真空功能，可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉換一鍵完成。

3. 可載入＊大直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進行元素分析。

4. 強大的鼠標控制功能，可實現電鏡的所有操作。

5. 分子泵真空系統，潔凈無污染。

二、技術規格

項目	內容
二次電子分辨率	3.0nm（高真空，30kV）
背散射電子分辨率	4.0nm(低真空：6Pa，30kV）
倍率	5～300,000X
加速電圧	0.3～30 kV
樣品臺	?????X???? 0～80 mm????????
	Y?? ? 0～40 mm；?
	Z??? ?5～50 mm；?
	??? T???? -20°～ 90°；?
	R????360°?
樣品臺控制	手動（可選：2軸馬達）
＊大載入樣品尺寸	直徑：153 mm
＊大觀察范圍	直徑：126 mm（XYR并用）
＊大樣品高度	60 mm（WD=15 mm）
低真空范圍	6-270Pa(從菜單設定)
燈絲	預對中鎢燈絲
物鏡光闌	4孔可變光闌
槍偏壓	固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓
檢測器	二次電子檢測器，高靈敏度半導體背散射電子檢測器
EDX分析位置	WD=15,TOA=35°
真空系統	分子泵1臺，機械泵1臺
安全措施	停電，漏電，自動保護

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