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TM3030 型掃描電子顯微鏡

一、用途

Hitachi TM3030型掃描電子顯微鏡(SEM)向來被廣泛用于生物、材料、化學、物理等各種不同領域的表面觀察和分析。但是由于SEM的局限性，使用者需要花費大量時間在樣品制備和電鏡的操作上。

為此，日立在原有的，已受到廣泛好評的TM-1000的技術上，精益求精，研發出結構更緊湊、功能更齊備、操作更簡便的TM-3000臺式掃描電子顯微鏡。通過簡單的操作，即可達到觀察微觀世界的目的。

二、技術規格

項目	內容
放大倍率	15X～30,000X(數字放大：2X、4X)
觀察模式	標準模式、減輕荷電模式、大束流分析模式
圖像模式	形貌像、成份像、陰影像1、陰影像2、凹凸像
電子光學系統
電子槍	預對中發夾型鎢燈絲
加速電壓	5kV、15kV 、EDX
透鏡系統	3級電磁式透鏡會聚系統
電位移	±50μm (WD=4.5mm、觀察條件：標準模式)
能譜分析位置	WD=10mm, TOA=35°
樣品臺
樣品臺控制	2軸手動樣品臺
樣品可移動范圍	X：±17.5mm、Y：±17.5mm
*大樣品尺寸	直徑70mm
*大樣品厚度	50mm
檢測器	高靈敏4分割半導體背散射電子檢測器
真空系統
自動控制系統	全自動氣動閥控制系統
*高真空度	1.5×10-5Pa
可變真空度	6~270Pa(22steps)
渦輪分子泵	30L/s 1臺
隔膜泵	1m3/h 1臺
真空計	1臺
自動功能
自動燈絲飽和	已配備
自動電子束設定	已配備
自動電子槍對中	已配備
自動合軸	已配備
自動聚焦、消像散	已配備
自動亮度、對比度	已配備
自動保護功能	帶有過電流保護功能、漏電遮斷器
計算機控制系統
操作系統	Microsoft Windows? 7
CPU	Intel? CoreTM2 Duo P8700(或與其兼容的PC)
內存容量	2GB以上
接口與端子	USB2.0接口(2個)、網路接口(以太網)
觀察	15.4英寸LCD；屏幕分辨率1280×800像素
控制	鼠標、鍵盤
掃描速度
TV掃描	640×480象素顯示，25幀/秒
快速掃描	全屏顯示，6.3幀/秒
慢速掃描	全屏顯示，1/4/20/40/80秒/幀 640×480像素顯示，0.5/2/10/20/40秒/幀
圖像數據存儲
圖像存儲像素	640 × 480、1,280 × 960像素
圖像數據保存	PC帶硬盤及其他記錄媒體
圖像存儲格式	BMP、TIFF、JPEG
圖像信息	微標尺、微值、放大倍率、日期、時間、圖像編號、注釋、觀察條件、觀察模式、圖像模式、工作距離
輔助功能	圖像旋轉、簡單測量、三維動畫維護指南
使用環境
室溫	15°C ～30°C
相對濕度	40%～70%
電源	單相AC100～240V(低90V、高250V) 50/60Hz、3P插座
地線	D類接地，電阻小于100Ω
體積與重量
主機	330(長)×606(寬)×565(高)mm、63.0Kg(manual stage) 330(長)×630(寬)×565(高)mm、66.0Kg(motor drive stage)
隔膜泵	145(長)×256(寬)×217(高)mm、4.5Kg

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上海彼愛姆（BM）光學儀器制造有限公司是繼于具有五十年光學儀器制造的企業上海光學儀器廠（上光）。在機制改革成熟和進入WTO適應國際市場開拓發展新概念的基礎上，優化組建成BM公司。BM云集了有四十多年從事光學科技研制的老一輩工程技術人員，具有多年來與德、日、俄等國外同行合作開發研制的經驗。有雄厚的技術力量，是老“上光”的深化和延續。具有現代科學管理體制的光、機、電、智能化綜合型光學儀器制造的專業企業。